模塊化潔凈室是一種特殊的環(huán)境控制設(shè)施,用于在生產(chǎn)、實(shí)驗(yàn)和制造過程中控制空氣質(zhì)量和粒子污染。在模塊化潔凈室中,空氣中的微粒濃度、溫度、濕度和壓力都要經(jīng)過嚴(yán)格的控制,以確保生產(chǎn)過程中的產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性。美國聯(lián)邦209E和國際ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)是中國目前各行業(yè)通用的兩個(gè)潔凈等級。209E的百級近似對標(biāo)國際標(biāo)準(zhǔn)ISO5級,但是兩者也有一些細(xì)微的差別。整體上來說,國際標(biāo)準(zhǔn)ISO的規(guī)定更嚴(yán)格一點(diǎn)。
模塊化潔凈室的等級是按照空氣中的微粒濃度來劃分的。209E標(biāo)準(zhǔn)中,百級控制的有0.2μm、0.3μm、0.5μm這三種微粒。1立方英尺(ft3)范圍內(nèi),0.2μm的微粒要在750個(gè)以下,0.3μm的微粒要在300個(gè)以下,0.5μm的微粒要在100個(gè)以下。
而國際ISO14644標(biāo)準(zhǔn)中,5級要控制的有0.1μm、0.1μm、0.3μm、0.5μm、1.0μm、以及5.0μm共6種微粒子。在1立方米(m3)范圍內(nèi),0.1μm的微粒要在10萬個(gè)以下,0.2μm的微粒要在2.37萬個(gè)以下,0.3μm的微粒要在1.02萬個(gè)以下,0.5μm的微粒要在3520個(gè)以下,1.0μm的微粒要在832個(gè)以下。5.0μm的微粒要在29個(gè)以下。
因此,在選擇模塊化潔凈室時(shí),應(yīng)根據(jù)實(shí)際需求和應(yīng)用場景,以確保選擇適合的模塊化潔凈室等級和類型。
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